槽式湿法清洗机台准确来说是一个比拟精密的机器,环球关于它的组件亦然无比敬爱。到底有哪些部分组成这一台机器呢?底下就来为环球领会一下:
槽式湿法清洗机台主要由多个要道部件组成,每个部件王人承担着特定的功能以确保通盘这个词清洗经由的高效和牢固。
清洗槽:清洗槽是中枢部分,用于容纳化学药液和待清洗的硅片。在清洗经由中,化学药液从槽底流向顶部,对竖直甩掉在槽内的硅片进行清洗。
主诱惑电脑:主诱惑电脑是遏抑系统,厚爱通盘这个词清洗经由的自动化遏抑。它包含硅片角度诞生模块,用户不错通过该模块输入硅片角度,主诱惑电脑凭证输入的角度遏抑启动机构调遣硅片位置。
硅片托架:硅片托架用于甩掉待清洗的硅片,频繁由纵向相对顶住的左托架和右托架组成。托架的野心确保硅片在清洗经由中保合手牢固,并允许硅片在需要时进行旋转调遣。
第一启动机构:第一启动机构用于启动硅片托架上的主动轴旋转,从而终端硅片的周向角度调遣。这一调遣有助于优化硅片名义的清洗后果,幸免清洗死角。
影像采集器:影像采集用具于采集待清洗硅片的影像,并将其发送到主诱惑电脑。主诱惑电脑通过败露系统展示硅片影像及名义流体流向,匡助用户细则硅片角度。
定位传感器:定位传感器装配在硅片托架底部,用于检测硅片周缘的定位槽。当定位传感器检测到定位槽时,会输出原点位置信号到主诱惑电脑,以便精准遏抑硅片的位置。
机械手:机械手用于将待清洗的硅片甩掉到硅片托架上。机械手沿导轨迁移体育游戏app平台,确保硅片的准确甩掉和取出。